电感耦合等离子体发射光谱仪由计算机控制，灯电源顺序地向各检测单元的空心阴灯供电(2,000次/秒),所产生的荧光由相应的光电倍增管检测，光电转换后的电信号在放大后由计算机处理，并报出各元素的分析结果.不过，值得提出的是，以ICP为原子化器的原子荧光光谱仪对难溶元素的测定灵敏度不高.

多电感耦合等离子体发射光谱仪是领域无机分析能手，环境中大气、水质、土壤和固废污染物中无机元素分析； 食品药品中营养元素和污染元素的定性定量分析；

ICP光谱仪仪器特点：进样系统具有、稳定的进样系统。通过不断地形成大小一致的液滴，eNeb选件可令Optima提供的稳定性和无可比拟的检出限，非常适用于环境和制剂实验室。有的RF发生器采用免维护的等离子体感应板，替代传统的螺旋负载线圈。无需冷却，氩耗降低，操作成本大大降低。

电感耦合等离子体发射光谱仪可以进行冶金矿业中杂质元素和主量元素的含量分析。

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